单晶靶材
产品分类:溅射靶材
靶材是高速荷能粒子轰击的目标材料。主要应用于电子及信息产业,如集成电路、信息存储、液晶显示屏、激光存储器、电子控制器件等,亦可应用于玻璃镀膜、 耐磨材料、高温耐蚀和高档装饰用品等。靶材包含金属类、合金类、陶瓷类、单晶类等,···
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靶材是高速荷能粒子轰击的目标材料。主要应用于电子及信息产业,如集成电路、信息存储、液晶显示屏、激光存储器、电子控制器件等,亦可应用于玻璃镀膜、 耐磨材料、高温耐蚀和高档装饰用品等。
靶材包含金属类、合金类、陶瓷类、单晶类等, 火影科技有限公司提供常见的金属靶材,包含且不限于以下。
材料 | 纯度 | 最大尺寸 |
Al2O3 | 4N | ∅3〞 |
MgO | 4N | ∅2〞 |
SrTiO3 | 4N | ∅30 |
Si | 5N | ∅4〞 |
SiO2 | 5N | ∅4〞 |
Ge | 5N | ∅4〞,∅2〞 |
LaAlO3 | 4N | ∅2〞,∅3〞 |
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